研究成果

平成28年度成果

面発光レーザ

1素子:3mW(世界最高出力

紫外線センサー

Si系センサーよりも4~5桁高感度 and 低暗電流
光電子増倍管と同程度の受光感度
→応答速度も比較的高速

縦伝導型面発光レーザ

【VCSEL設計構造】

【活性層付近の電界分布および屈折率分布】

  • 下部DBRを貫く縦方向電流注入構造
  • 1.5λと赤外VCSELに近い共振器長

縦伝導型面発光レーザ

【電流 ― 電圧 ― 光出力特性】

【レーザ発振時の様子】

  • 閾値電流: 2.6mA (5.2kA/cm2)
  • 閾値駆動電圧: 5.0V
  • 直列抵抗: 135Ω (高電流注入時)

窒化物面発光レーザでは初の下部DBRを貫く縦方向電流注入駆動による室温連続発振を達成

縦伝導DBR+トンネル接合の活用

目的: 青色面発光レーザ(VCSEL)の低しきい値化およびスロープ効率の向上

→埋め込みトンネル接合による電流狭窄構造の応用

現状

  • 駆動電圧: 6.16V @5kA/cm2
  • 明確な電流狭窄
  • 比較的良好な表面形状

今後

  • 面発光レーザへの適用
  • 他の光デバイスへの適用
  • 物理の解明

電子線励起型GaN系紫外半導体レーザ

光強度―注入パワー密度依存性

試料構造

スペクトル

偏光特性