大学概要 【2016年度実施分】学生に他研究機関での実験等を体験させることにより、コミュニケーション力を養成
理工学部材料機能工学科
No.継続8
実施責任者上山 智
学生に他研究機関での実験等を体験させることにより，コミュニケーション力を養成
教員の研究ネットワークを利用し、共大学院生および卒業研究生を同研究先や連携する研究機関に派遣した。また学協会が主催する研修会や講習会に派遣した。平成27年度はスイス、イタリア、アメリカなど海外の研究機関に7名、国内の大学および企業の研究所などに87名を派遣し、研究施設の見学やプレゼンテーション・ディスカッションなどを行った。
代表的な派遣先：九州大学、日本大学、関西大学、京都大学、豊橋技術科学大学、東京工業大学、JEOL西日本ソリューションセンター、ソニー厚木テクニカルセンター、IHI、栗本鐵工所他
大阪大学への派遣（1/13更新）
2017/01/13
○派遣先 大阪大学
○派遣先の住所 吹田市山田丘
○日時 2016/12/26~12/28
○氏名 山田
【実施内容】
大阪大学の片山・上向井研究室に訪問し、DFBレーザの回折格子を作製するためのプロセスを行いました。本学では使用できない電子線描画装置を使用することで基板上に回折格子のパターンを形成することができます。実験を通して電子線描画装置の使用方法やそれに必要なプロセス工程を学ぶことができました。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
本学にはない電子線描画装置を用いることで、基板上に200μm角の回折格子のパターンを描写することができました。実験以外にも大阪大学の学生とも意見交換をすることができ、良い経験となりました。今後はパターンを描写した基板を本学に持ち帰ってエッチングを行う予定です。今回の派遣を通して電子線描画装置の使用方法とパターンを描写するために必要なプロセス工程について知ることができたので、今後DFBレーザを作製する場合に役立てて行きたいと考えています。
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電子線描画でパターンを形成する前の基板を洗浄している様子。DMF溶液にサンプルを浸して超音波洗浄をしている。
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電子線描画装置で描写するパターンの打ち込みをしている様子。基板に描写するパターンの位置や大きさなどをプログラムを使って設定をしている。
レジストを塗布し、露光が終わったサンプルの現像をしている様子。現像液に1分浸し、リンスした後にブロワーで乾かす。
作成したパターンを顕微鏡を用いて観察している様子。電子線描画装置で描写したパターンが観察できる。
ACTIVITY
三重大学・三宅研究室を訪問(7/1更新)
2016/07/01
○派遣先 三重大学
○派遣先の住所 〒514-8507 三重県津市栗真町屋町1577
○日時 2016/6/21
○氏名 袴田
【実施内容】
共同研究を行っている三重大学の三宅研究室を訪問し窒化アルミニウムの創製技術に関して研究を進めてきました。本学の窒化アルミニウムの作製技術は世界的に高いレベルにありますが、補完関係の成り立つ同研究グループとは長い連携関係があり、共同研究内容の打ち合わせなどを行いました。
三重大学の工学部では、名城大と同じく幅広い分野にわたって研究が行われています。今回訪問させていただいた三宅研究室は電気電子工学専攻ですが、本研究室と同様にⅢ族窒化物を用いた紫外発光素子の検討を行っています。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
今回の派遣では三重大の三宅研究室を訪問し、実験装置の見学や実験内容についての議論を行いました。また、共同研究を進めている窒化アルミニウムの熱処理技術の開拓に関しては、それぞれの知見や結果の解釈に関して議論を行いました。また試料を持ち帰り、この後実験を進め、再度訪問を予定しています。
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MOVPE装置です。私の研究で用いているMOVPE装置は縦型炉という構造のものですが、写真のMOVPE装置は横型炉を採用しています。
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三宅研究室のアニール装置です。MOVPE法やスパッタ法により成膜したAlN層をこの装置で高温熱処理することにより結晶性を向上することができます。この研究において、本研究室では三宅研究室と共同で研究を行っています。
SPring-8を訪問(7/21更新)
2016/07/21
○派遣先 SPring-8
○日時 2016/7/2~7/6
○氏名 清木
【実施内容】
大型放射光施設SPring-8で利用できる高輝度放射光の特性と発生原理を学習後、実習を通して、サブミクロン集光放射光ビームを用いたX線回折放射光とその場XAFS計測について学びました。国研・企業・他大学の研究者・学生に交じって研究交流ができる機会となりました。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
私が研究で取り組んでいるXAFS測定に利用する高輝度X線に関する基礎的な知識や経験を養うことが出来ました。
本経験を活かして、積極的にSPring-8を利用するとともに、半導体の局所構造解析を行っていく予定です。また、企業・国研・他大学の研究者・学生との交流を通して、学びのコミュニティー形成に強く役立つと感じました。
spring8
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Spring-8のビームラインBL01B1で、その場XAFSの実習（JASRIの伊奈さんが担当）を受ける様子
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X線のサブミクロン集光実習を受けている様子。実際に測定まで行い、その結果の解析を進めました。
同志社大学・琵琶湖リトリートセンターを訪問(8/19更新)
2016/08/19
○派遣先 同志社大学 琵琶湖リトリートセンター
○派遣先の住所 〒520-0501 滋賀県大津市北小松179
○日時 2016/8/1~8/7
○氏名 上田、山田、日下部
【実施内容】
同志社大学で行われた結晶成長スクールに参加し、海外の研究者・学生と一緒に半導体からタンパク質など様々な材料の結晶成長に関する講義を受講しました。
また、ポスター発表やチョコレートの結晶を作る実験なども行いました。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
結晶成長における理論と実験の両方の講義を聞くことができ、結晶成長に対する理解を深めることが出来ました。
また、宿泊が外国人との共同部屋のため英語を話す機会が多く、英語に慣れることができました。
今回得られた知識と英語力を今後の研究活動に活かしていきたいです。(上田)
本派遣によって、基礎から応用まで広い範囲の結晶成長に関する講義を受けることができ、今後の研究活動に大いに役立つことを学ぶことができました。
また、本スクールは海外からの参加者も多く、講義やその他の時間も英語でコミュニケーションをとる機会が多かったため、英語力の向上にも努めることができました。
本スクールで学んだ知識や英語力を今後の研究活動に生かしていきたいです。(山田)
同志社大学に来ている外国人との交流や、世界最先端の講義やポスター発表、さらには実験実習を行いました。ほとんどの場面で英語によるコミュニケーションが必要となったため、英語力の重要性も実感できる派遣だったと思います。今回の経験から得た幅広い知識や英語力を今後の活動に役立てていきたいです。(日下部)
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液体に溶かしたチョコレートから結晶化させる時に、その条件によってどのような結晶ができるかを実験しました。
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結晶成長に関するセミナーを受講しました。
ナノテクプラットファームを訪問（8/22更新）
2016/08/22
○派遣先 ナノテクプラットファーム（量子科学技術研究開発機構）
○派遣先の住所 兵庫県佐用郡佐用町光都1丁目1-1
○日時 2016/8/14~8/20
○氏名 平岩
【実施内容】
高温高圧を利用した新規物質合成
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
本派遣では、高温高圧合成の現地研修をさせていただいた。日本の第一線の研究者である量子科学技術研究開発機構の齋藤寛之先生の指導を得られこと、最先端研究施設を見学できたことは、貴重な経験だと感じている。本研修は、高温高圧合成がどのような手法であるかを理解するうえで大変有益であり、新規物質合成に関する興味関心を大変引き立てられた。また、齋藤先生の解説を通じて、SPring-8における施設の共用化の大切さを理解することが出来た。さらに、実際に研究をされている学生の方々や職員の方々との交流を通じて、今後の研究開発を進める上での励みとなった。本派遣で体験した新規物質合成へのアプローチを、半導体研究にも生かしていきたい。
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高温高圧を利用した新規物質合成の実習
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放射光施設内のマルチアンビルプレス
量子科学技術研究開発機構を訪問（8/30更新）
2016/08/30
○派遣先 量子科学技術研究開発機構
○日時 2016/8/22～8/26
○氏名 後藤
【実施内容】
8月22日から26日まで、ナノテクノロジープラットフォームの学生研修として兵庫県にあるSPring-8で実験をしてきました。 内容は分子線エピタキシー法による試料作製とその評価です。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
研究をまだ始めていない学部3年で、Spring-8で実験を出来たことはとてもよい経験になりました。何も分からない状況で試料の製作、評価そして9月にあるポスター発表という一連の流れを体験できることで、今後の研究をしていく上で、どのようなことをしていくのかより考えることが出来ます。内容は分子線エピタキシー法による試料作製とその評価で、日ごろ勉強していたことが実験を通してより深く理解できました。さらに、SPring-8で1年に1回行われる避難訓練にも参加しました。高所恐怖症なのにハシゴ車に乗ってしまいました。 色々な意味で貴重な体験をできた派遣になったと思います。
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分子線エピタキシー法（MBE）の実験において、試料を作製するために使用したMBEという機械で、その試料を確認している様子
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作製した試料をPL法で評価しました。
立命館大学への派遣（9/26更新）
2016/09/26
○派遣先 立命館大学
○日時 2016/8/29～8/31
○氏名 石原、林、髙橋、村松、光藤、池田、袴田、川瀬、大角、荒川、倉内、高木、
田中、都築、三品、山路、山田、髙野、近藤、清水
【実施内容】
立命館大学で立命館大学、三重大学、大阪大学、名古屋大学、名古屋工業大学、名城大学の学生および教員で合同ゼミと研究実習を行った。本派遣では名城大学からは計20名が参加し、積極的に研究活動や実習に関しての検討を行った。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
本派遣で1番得られたこととしては、同じ分野を主に研究している学生と交流し、意見を交わすことができたことである。単純な学会では聞くことのできない本音や現状を話し合えたことは貴重な経験であると思うし、今後の研究の励みになったと強く感じた。このような経験は今回の合同ゼミ通じてしか得ることができず、またこのような機会があれば積極的に参加したいと考えている。（川瀬）
本セミナーにより他大学の実験内容を知ることができ、窒化物半導体に対する知識を広げることができた。また、他大学の生徒と議論を行ったことで自分の知識の少なさを痛感したので、今後は自分の専門分野のみの勉強・研究だけでなく他の分野の知識を取り入れることで違う視点からも自分の研究を見直していきたい。(林）
他大学での研究報告会を聞くのは初めてであり、同じ窒化物半導体という分野でも様々な発表があった。その中でも自分の研究テーマとは似ている非極性面についての報告があり、自分の研究の参考となった。また、様々な人と交流することによって研究の進め方や仕事の進め方に関してえるものが多かったと思います。今後も学びを愉しみながら頑張りたいと思います。（光藤）
本派遣を通じて他大学の研究室の研究実績や研究の現状を知ることができ、また、他大学の学生や教授と研究を通じて交流することができた。このことから、様々な研究の知識や人脈を得ることができた。今後は得られた知識や人脈を利用できる場面では利用しながら自分の研究を進めていきたい。（池田）
本派遣で得られたこととして、半導体の結晶成長の知識について理解を深めただけでなく、他大学の教授や学生とディスカッションや研究室見学を行うことで、似たような研究内容、考え方を違う人の視点で見た内容について共有することができた点である。また、BBQを通して、他大学の学生とのコミュニケーション能力を養えたという点も大きい。今後は、これらの経験を生かし、主体的に実験に取り組みたいと考えている。（石原）
本派遣で得られたことは、結晶成長を行う上で様々な知識が得られたことである。この層にどのような意味があるのか？その条件で、どんな改善点・メリットが得られるのか？等を議論することができた。また、自分と関係のないテーマの内容であっても、学ぶべき事項は多く、大変勉強になった。また、様々な人とコミュニケーションを取りながら研究を進めることを改めて重要だと感じました（村松）
私の研究テーマであるは「窒化物半導体を用いた波長変換に関する研究」について他大学の先生方が研究されており、最先端の研究内容を知ることができたのでよかった。またその先生方と交流することができ、今後も交流するきっかけにすることができたのでよかった。今回の活動で今後の研究方針をより明確にすることができたので、より一層研究を頑張って成果を残したいと思う。（高橋）
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窒化物半導体に関する結晶成長を主に研究している学生と先生が、研究内容についてプレゼンテーションとディスカッションを行った。
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立命館の研究室紹介の一環として、結晶成長装置の1つであるMBE装置の説明を受けた。
立命館の研究室紹介の一環として、評価装置の紹介を受けた。
研究内容を紹介したり、今後の研究に関して説明を行った。研究内容の紹介をすることや、他大学の学生から様々な意見を頂くことができ、今後も、様々な人と研究活動に関して議論をするなど様々なことに対して頑張っていきたい。
早稲田大学先進理工学部への派遣(9/29更新)
2016/09/29
○派遣先 早稲田大学先進理工学部
○派遣先の住所 東京都新宿区 早稲田大学材料技術研究所42-3号館104 多辺研究室
○日時 2016/9/11~9/13
○氏名 水野、椎名、佐野、渡邉、砂古口
【実施内容】
早稲田大学の多辺研究室を訪問し、液晶の試料作製の実習を行った。本実験は、本学では行うことができない試料の作製であり、大学間連携の一環として訪問した。実際に行ったこととしては、試料を準備し、観察用セルに封じ入れ、偏光顕微鏡でテクスチャーと呼ばれる干渉像を観察を行う。実験条件としては温度を調節し、テクスチャー像の変化を追う。教科書にも掲載される液晶試料で練習し、研究試料にステップアップを2日間にわたって行った。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
本派遣で、液晶とは何かをサンプル作製、偏光顕微鏡での観察を通して学ぶことができた。また、大学では普段扱わない装置を使わせていただき、非常によい経験になった。また、他研究機関で実験をしたりディスカッションをすることは、発想の転換をするうえで非常に重要だと感じた。今後も是非とも色々な経験を積めるように頑張っていきたいと考えています（水野）
現在多方面で利用されている液晶の主な特徴や、その利用例を知ることで今後の液晶の応用の可能性について考えることができた。実際に液晶のテクスチャーを偏光顕微鏡を用いて観察し、液晶の美しさや面白さを知った。今回の派遣でより液晶に興味が湧いたので、前期に引き続き論文の輪読などを通して液晶に関する知識を深めたい。（渡邉）
液晶は固体と液体の中間の相のことであり、液晶構造をとる物質はいくつもあるということがわかった。実験をしながら、それぞれの実験のコツや、その研究をはじめたきっかけを教えていただいた。他大学の研究者や学生とディスカッションする機会は非常に重要であること、また勉強をする上で好奇心を持つことが最も重要だと感じ、今後実験や研究を行うときは意義など考えながら行いたいと感じました。学外で様々な経験を積むことができるのは学生のうちでしかできないことだと思いますので継続的に頑張っていきたいと考えています。（砂古口）
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液晶テクスチャー像の観察に必要なサンプルを作製しているところ。
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液晶の中でも固体に近いネマチック層の液晶をスポイトで取り、スポイトから押し出すことでバブルを作った。
液晶テクスチャー観察のための試料準備。
液晶テクスチャーの観察をしている光景。
大阪大学への派遣（11/22更新）
2016/11/22
○派遣先 大阪大学 吹田キャンパス
○派遣先の住所 大阪府吹田市○日時 2016/11/17
○氏名 髙橋
【実施内容】
共同研究を行っている大阪大学に訪問し、研究に関する情報交換を行った。
特に、現在共同で開発を進めようとしている紫外の波長変換素子に関する実験の進め方やその方向性などの議論、さらには実際に使っている装置の状況などを見学した。さらに大阪大学の教授および学生と一緒にレーザに関するセミナーを受講し、それに関してディスカッションを行った。
▼写真①
左：大阪大学のクリーンルーム
クリーンルームの中には、現在行っている共同研究に必要な「スパッタ装置」、「ダイシング装置」、「研磨機」、「活性化接合装置」を始め、多くの装置が置いてあった。これらの装置は名城大学にもあるが、形状や装置の大きさを知ることが出来て良かった。また、この研究室以外にも森教授の研究室や藤原教授の研究室も訪問し研究の状況を調査したりした。
右：研究の進捗状況を報告しあった時、大阪大学の学生から頂いた資料
共同研究の内容は、光の波長を変換する素子を作製することがであり、その素子の作製条件が記されている。大阪大学の学生は、私と異なる検討をしているので、貴重な情報を得ることが出来た。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
名城大学で作成したサンプルを大阪大学に送って加工・評価して貰っているが、今回の派遣によって自分の目で直接装置を見て、どのように研究を進めているか知ることができた。また、大阪大学の学生と研究成果を報告し合ったが、私の知らない結果を詳細に知ることができたのでよかった。この情報のおかげで、私の研究をさらに進めることができると考えている。今後は、大阪大学で得た研究結果を踏まえて実験を進めていきたい。
▼写真②
大阪大学の教授および学生と一緒に「窒化物半導体を用いた青紫色長短パルスレーザ光」に関するセミナーを行ってもらった。また、研究に関するディスカッションや様々な共同研究プラットフォームに向けた取り組みなどに関して学生を中心にディスカッションすることができ大変貴重な経験を積むことができた。
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写真①：大阪大学のクリーンルームと研究の進捗状況を報告しあった時、大阪大学の学生から頂いた資料
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大阪大学の教授および学生と一緒に「窒化物半導体を用いた青紫色長短パルスレーザ光」に関するセミナーを行った様子
埼玉大学への派遣（11/22更新）
2016/11/22
○派遣先 埼玉大学
○派遣先の住所 埼玉大学 矢口・八木研究室
○日時 2016/11/18~11/19
○氏名 山路
【実施内容】
埼玉大学を訪問し、分光エリプソメトリー装置の実験を行わせていただき、装置使用法や、マニュアルを準備する。そのマニュアルを使い、本大学の分光エリプソメトリーを稼働させ、材料開発の技術を進める。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
分光エリプソメトリーの使用法やマニュアルを手に入れて、本大学の分光エリプソメトリーを使用できる環境を作ることを目標に埼玉大に訪問したが、データのフィッティングがとても難しいかつ、本大学の装置とソフトが埼玉大のに比べ一つバージョンが古いので本学での稼働はとても大変である。本大学でも分光エリプソメトリーを使用できるようにし、今後の研究に少しでも貢献できるよう、努力していきたいと考えて、今後の実験を進めていく予定です。
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埼玉大学にて撮影
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埼玉大の分光エリプソメトリー装置に試料を置いた時の光景とNb2O5の試料を分光エリプソメトリーで(Δ,Ψ)を測定した結果
Spring-8への派遣（11/29更新）
2016/11/29
○派遣先 Spring-8
○派遣先の住所 兵庫県佐用郡佐用町
○日時 2016/11/13~11/17
○氏名 清水
【実施内容】
大型放射光施設SPring-8から得られる高輝度マイクロビームX線を利用したX線回折を行うことで、窒化物系ナノワイヤーの構造評価を行った。Spring-8は放射光施設として通常の研究室では実現できないような強度の放射光が得られるため、ナノ構造を持つ試料の評価で世界的にここでしか解析できないような測定が可能である。本派遣では、5日間かけて、実際に装置を用いて実験を行い、窒化物半導体ナノワイヤの測定を行った。
本成果は、窒化物系ナノワイヤーの実現に多大な貢献ができるものと考えられる。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
Spring-8でしか利用できないようなサブミクロンビームを用いることで、窒化物系ナノワイヤーに関する非常に有用なデータが得られた。本経験を活かして、今後とも積極的にSPring-8を利用する。12月には、窒化物半導体の局所構造解析を行う予定であり、他機関での実験をすることによって、名城大学単独では得られない成果などが得られつつあります。今後は得られた結果の解析や、それを学会や論文等で発表していく予定です。
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ビームラインBL13XUのマイクロ回折装置外観
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実験している様子
Spring-8への派遣（12/19更新）
2016/12/19
○派遣先 Spring-8
○派遣先の住所 兵庫県佐用郡佐用町
○日時 2016/12/4~12/7
○氏名 清水
【実施内容】
大型放射光施設SPring-8のビームラインBL01B1にて、熱力学的に混ざりにくいとされる窒化アルミニウムインジウム（AlInN）の局所構造評価を行う。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
SPring-8以外では利用できない高輝度X線を用いたX線吸収微細構造法を行うことで、窒化アルミニウムインジウム（AlInN）の基礎物性解明に大いに役立つデータが得られました。このデータは他に報告がなく、将来的に学会発表や論文投稿につなげたいと考えております。また、本経験を活かして、今後とも積極的にSPring-8を利用したいです。
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左：ビームラインBL01B1の実験ハッチ内 右：測定した試料サンプル
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ビームラインBL01B1にて実験している様子
大阪大学への派遣（1/13更新）
2017/01/13
○派遣先 大阪大学
○派遣先の住所 吹田市山田丘
○日時 2016/12/26~12/28
○氏名 山田
【実施内容】
大阪大学の片山・上向井研究室に訪問し、DFBレーザの回折格子を作製するためのプロセスを行いました。本学では使用できない電子線描画装置を使用することで基板上に回折格子のパターンを形成することができます。実験を通して電子線描画装置の使用方法やそれに必要なプロセス工程を学ぶことができました。
【本派遣で得られたことや今後の抱負】
本学にはない電子線描画装置を用いることで、基板上に200μm角の回折格子のパターンを描写することができました。実験以外にも大阪大学の学生とも意見交換をすることができ、良い経験となりました。今後はパターンを描写した基板を本学に持ち帰ってエッチングを行う予定です。今回の派遣を通して電子線描画装置の使用方法とパターンを描写するために必要なプロセス工程について知ることができたので、今後DFBレーザを作製する場合に役立てて行きたいと考えています。
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電子線描画でパターンを形成する前の基板を洗浄している様子。DMF溶液にサンプルを浸して超音波洗浄をしている。
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電子線描画装置で描写するパターンの打ち込みをしている様子。基板に描写するパターンの位置や大きさなどをプログラムを使って設定をしている。
レジストを塗布し、露光が終わったサンプルの現像をしている様子。現像液に1分浸し、リンスした後にブロワーで乾かす。
作成したパターンを顕微鏡を用いて観察している様子。電子線描画装置で描写したパターンが観察できる。
