松原 衣里さん （理工学研究科電気・情報・材料・物質工学専攻博士課程2年、半導体工学研究室）

ワイドギャップ半導体学会　WideG 特別公開シンポジウム2026
　優秀ポスター発表賞

加熱水を用いたAlGaNの選択的エッチング特性とそのAlNモル分率依存性

2026年8月31日開催のWideG特別公開シンポジウム2026で、19件の学生ポスター発表の中から優秀ポスター発表賞に選ばれました。

深紫外（UV-B）半導体レーザの高出力化には縦伝導デバイスが欠かせず、そのためにはサファイア基板の剥離技術が必要です。これまで加圧加熱水による独自の基板剥離技術を研究してきました。

今回は、AlGaNの加圧加熱水によるエッチング量をAl組成ごとに系統的に調べました。その結果、AlNはエッチングされる一方、Al組成の低いAlGaNはほとんどエッチングされないことを明らかにしました。さらに、エッチングの進み方が結晶面によって大きく異なることも見出しました。