学部2年生の科学技術リテラシーの一環であるラボツアーにおいて、榎本研究室についての紹介を行いました。プラスチック材料がそもそもどのような材料なのかの説明を行い、榎本研究室で、どのような研究が行われているかの紹介を行いました。また、研究で使われている射出成形機で実際に射出成形されるところを見学してもらいました。最後に質疑応答を行い、研究内容のより深い説明を行ったり、現在の学部生の疑問に答えたりする時間としました。

学部2年生を対象とした研究室の紹介及び研究内容の簡単な説明を行った。実際に田中研が所有しているTEMを見せながら説明した。

ラボツアーでは、学部生の研究室に対する興味を向上させることを目的として、研究室の学生による学部生向けのプレゼンテーションを行った。活動内容としては、R2-241で、ポスターを使って研究背景および研究内容を紹介し、LEDプローブのデモ機を実際に駆動した。その後、R2-004に移動し、LEDの作製プロセスおよびイエロールームの説明、質疑応答を行った。ラボツアーを通して学部生たちからは、半導体集積化技術を生命科学に応用するという研究内容は珍しく、楽しそうだという感想を聞くことができた。個人としては、学部生に対して研究室の紹介をすることにより、プレゼンテーション能力の向上や研究内容をより深く理解することができた。

13時頃からラボツアーを開始し、合計6グループの見学を行った。
学部生に対して、我々の研究室の研究内容である半導体レーザーやマイクロLEDの説明や現状の研究課題の簡単な説明を行った。2年生の段階では半導体に関する知識や発光のメカニズムをまだ習っていないため、原理や構造を説明するよりも我々の研究が今後の社会にどのように応用され、貢献していくのかを重点において説明を行った。そのため、説明時に使用したスライドも難しい原理が分からなくても理解できるような内容をまとめた。

7月30日(水)~8月1日(金)の日程で、結晶工学スクールが名古屋大学で開催され、本学岩谷研究室から4名の学生が参加した。スクールでは、結晶成長、構造解析、電子・光物性にかかわる基礎的内容を厳選した講義が行われた。また、他大学の学生、企業で研究・開発に取り組んでいる方々との交流会があり、お互いの研究内容などについて話し合った。

大阪大学片山研究室のM2の学生に、半導体レーザ作製のためのプロセスの指導をしていただいた。初めに、使用する試料の確認を行った。マスクレス露光装置を使用させて頂くために、今回使用するCADデータ(フォトマスク)の修正&確認を行い、作業を開始した。まずは、試料(p-GaAs基板)の有機洗浄、表面酸化膜除去を行い、リソグラフィーを行うため、レジスト塗布をスピンコーターで行った。その後、マスレス露光装置にCADデータを取り込み、ステージに試料をセットし、露光を行った。複数の露光量、パターンで露光を行った。露光後に現像を行い、表面を光学顕微鏡にて観察した。

大阪大学片山研究室のM2の学生に、半導体レーザ作製のためのプロセスの指導をしていただいた。GaAs基板上にリソグラフィーにてストライプパターンを形成し、金属蒸着(Ti&Au)及び保護膜(SiO2)を成膜し、電極形成を行った試料を使用している。CCP-RIE装置を使用させて頂き、リッジ形成を行った。エッチング時にポリマーが発生し、表面に堆積する。このポリマーの除去を行うため、UVオゾンクリーナーを使用した。エッチング後の表面及びオゾンクリーナー後の試料表面を光学顕微鏡にて観察した。また、触針式段差膜厚計(Dektak)を用いて、エッチング量やポリマーの除去量を測定した。