トップページ/受賞 理工学研究科の矢敷さんが第51回応力・ひずみ測定と強度評価シンポジウムで新進賞

受賞者 矢敷 啓太さん(理工学研究科機械工学専攻修士課程2年、來海博央教授研究室)
受賞名 日本非破壊検査協会 第51回応力・ひずみ測定と強度評価シンポジウム 新進賞
受賞日 2020111
受賞テーマ 偏光顕微ラマン分光法による単結晶シリコンカーバイド(SiC)のひずみ/応力成分評価手法の開発

本研究では、パワーデバイス材料である単結晶SiCの応力やひずみを顕微ラマン分光法で同定する手法を明らかにしました。特に応力やひずみ成分を同定する理論と、その際に必要となる変形ポテンシャル係数をSiCのラマンピーク4本に対して第一原理計算により求め、実験結果と比較して高い精度で一致することを明らかにしています。実際に応力を加えた試験片についても測定し、本測定法の妥当性を示しています。本手法は、今後新規パワーデバイスの性能を左右する重要な応力やひずみを測定する手法として期待されます。

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